在陶瓷拋光機拋光時工件想要獲得高精度的加工平面，其中最主要的因素是在拋光盤的平面精度。拋光盤的平面精度與其精度的保持性決定了平面拋光的精度。面積較小的工件在進行高精度拋光時，要使用彈性變形小且始終能保持平面度的拋光盤。一般的平面拋光盤上都會涂上一層彈性或者軟金屬材質、光學玻璃等來作為拋光盤，這樣使其能獲得記精度表面質量。如果在工件的材質本身是較軟的，如：光學玻璃等，就可以采用軟質或半軟質的拋光盤來獲得較高精度的平滑無損表面。其缺點是比較難保持工件的平面度，對工件的平面度產生影響。想要在使用軟質的拋光盤的情況下，同時又能得到工件高精度的表面就必須注意以下幾點：
1.不使用過長或者廢棄已經磨損變形的拋光盤。
2.使用檢驗合格或者耐磨損性好的拋光盤。
3.修整磨損變形的拋光盤，采用人工修整或者利用標準平板與拋光盤對研修整，最后再采用高精度的陶瓷拋光機進行拋光。
4.同時要保持陶瓷拋光機在進行拋光時的室內清潔等；如：硬塵粒會造成污染拋光的材料。
